可维修故障：1、电源故障：不能开机；2、精度故障：示值超差;3、软件故障：无法标定；软件升级；4、按键故障：按键失效，损坏，接触异常；5、其他使用问题等;

可维修故障：1、电源故障：不能开机；2、精度故障：示值超差;3、软件故障：无法标定；软件升级；元素升级；4、按键故障：按键失效，损坏，接触异常；5、其他使用问题等;

可维修故障：1、电源故障：不能开机；2、精度故障：参数测试不准;3、显示故障：花屏，黑屏，白屏，缺画；4、按键故障：按键失效，损坏，接触异常；5、硬件故障：灯泡坏，缺失遮光板，挡板等;6、其他使用问题等。 

详情说明：日本富士F601/F301激光干涉仪。。。。。可维修故障：1、电源故障：不能开机；2、精度故障：激光重影;3、显示故障：花屏，黑屏，白屏，缺画；4、按键故障：按键失效，损坏，接触异常；5、硬件故障：高压模块损坏，激光管损坏等6、其他使用问题等。

详情说明：ZY-100,ZY-150,GPI100等全系列激光干涉仪可维修故障：1、电源故障：不能开机；2、精度故障：激光重影;3、显示故障：花屏，黑屏，白屏，缺画；4、按键故障：按键失效，损坏，接触异常；5、硬件故障：高压模块损坏，激光管损坏等6、其他使用问题等。

详情说明：KIF-201,KIF-202等全系列激光干涉仪可维修故障：1、电源故障：不能开机；2、精度故障：激光重影;3、显示故障：花屏，黑屏，白屏，缺画；4、按键故障：按键失效，损坏，接触异常；5、硬件故障：高压模块损坏，激光管损坏,光栅尺损坏等6、其他使用问题等。